Auto Wafer
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Die SAM 300 Auto Wafer ist eine speziell für die “Inline” Produktionskontrolle entwickelte Produktlinie. Sie entspricht der Reinraumklasse 10 und wurde für die Inspektion von Wafern oder gebondeten Wafern (MEMS) entworfen, um Hohlräume, Einschlüsse oder Delaminationen in gebondeten Schichten zu entdecken.
Auto Tray
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Diese Linie wurde speziell für die Produktionskontrolle von elektronischen Geräten, Leiterplatten, IGBTs und anderen komplexen Komponenten entwickelt. Die Systeme entsprechen der Reinraumklasse 10. Die wichtigste Anwendung besteht im Nachweis von Fehlstellen wie Lücken, Blasen, Löchern, Einschlüssen, delaminierten Bereichen oder Dickenvariationen in gelöteten oder Ag-gesinterten Interfaces. Dabei können mehrere Schichten gleichzeitig kontrolliert werden.