Die Besonderheit der akustischen Mikroskopie besteht in der zerstörungsfreien Inspektion von Probenoberflächen und inneren Strukturen, wie etwa von Ingots bei der Herstellung von Wafern und MEMS-Systemen. Dort, wo Infrarot-Mikroskope oder Röntgenmikroskope an ihre Grenzen gelangen, können Ultraschallmikroskope zuverlässig die innere Beschaffenheit selbst opaker Proben darstellen.
