Ultraschallmikroskopie / made in Germany
Die PVA TePla Analytical Systems GmbH ist seit mehr als 30 Jahren wegweisender Experte auf dem Gebiet der akustischen Mikroskopie. Mit führenden Lösungen für alle Branchen und Technologiebereiche ermöglichen wir unseren Kunden eine zuverlässige zerstörungsfreie Werkstoffprüfung – von der Inspektion von Solar- und Halbleitersystemen bis hin zur Fehleranalyse von Ingots zur Herstellung von Wafern und MEMS-Systemen.
Unternehmensgeschichte
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Übernahme der MPA Industrie SA in Frankreich.
Stärkung des Industrieanlagenbaus durch das ausgereifte Prozess-Knowhow für Siliziumkarbid (SiC)-Bauteile und SiC-Schichten im Industrie- und im Halbleitersektor.
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Gründung der PVA TePla Korea
Mit der Gründung der PVA TePla Korea im Januar 2022 verstärkt die Gruppe ihren Vertriebs- und Servicestandort in Asien um eine weitere Unternehmung.
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Stärkung der Ultraschall-Mikroskopie
Die PVA TePla AG übernimmt die Okos Solutions LLC in den USA. Okos baut Messgeräte für die Qualitätsprüfung von Hightech-für die Luft- und Raumfahrt und den Halbleitermarkt. Mit der Übernahme stärkt die PVA TePla-Gruppe für ihre Ultraschall-Messgeräte den Zugang zum US-amerikanischen Markt.
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Übernahme eines italienischen Kesselherstellers
Die PVA TePla Gruppe hat 2019 Aktivitäten eines renommierten und weltweit anerkannten italienischen Kesselherstellers übernommen. Damit können unsere Tochtergesellschaften zu den bestehenden Lieferanten Kessel aus eigener Produktion zum Bau von Vakuum- und Kristallzuchtanlagen beziehen.
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2018 verstärkt die PVA TePla Gruppe ihre Metrologie-Sparte. Die PVA SPA Software Entwicklungs GmbH ist ein Spezialist für Software und Automatisierung in der Halbleiter-Industrie sowie für optische Metrologie. Mit dieser Übernahme wird für die weitere strategische Entwicklung der PVA TePla Gruppe ein wichtiger Schritt nach vorne gemacht.
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2016 hat die PVA TePla ihre Position auf dem Chinesischen Markt mit dem Aufbau eines weiteren Vertriebs- und Servicestandortes in der High Tech Region Xi’an nochmals verstärkt.
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Vollautomatische Systeme
Erste vollautomatisierte 8-12 Zoll Wafer Inspektionssysteme zur Bondkontrolle, MEMS Inspektion, Integration von SMIF und FOUP, OHT, GEM/SECS Steuerung
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Im Zeichen der Automatisierung
- Vollautomatisierte AUTO TRAY Systeme zur IGBT-Inspektion und JEDEC TRAY-Inspektion
- Serienfreigabe der hochfrequenten Dünnschichttransducer für Laborsysteme und vollautomatisierte Inspektionsanlagen
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Entwicklung neuer Tools
- Erstes voll automatisiertes 8/12 Zoll-Bridge Tool (4 Kanalsystem) für die Inspektion von Wafern und MEMS Systemen
- 3D tomographisches SAM Analyse Tool und Einführung von HILBERT Modulen für die Auflösungs- und Kontrastverbesserung von SAM-Analysen
- Einführung der SAMnalysis Software für die add line und off line Analyse von SAM Daten
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Umfirmierung
Erwerb des Unternehmens durch die PVA TePla AG und Neubenennung als PVA Tepla Analytical Systems GmbH.
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Patentanmeldungen
- Akustischer Auto Fokus (DE 102006005449 A1 2006.10.12)
- Akustische Mehrkanalsysteme (DE 102006005448 A1 2006.10.12 2005)
- Pin Hole Detektion in Si (DE 102006032431 A 12007.12.27)
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Neuausrichtung
Firmierung der SAMTEC GmbH Aalen als Anbieter von SAM Systemen in der industriellen SAM-Mess-und Inspektionstechnologie.
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Transducer Fortschritt
Es entstehen erste Saphir Transducer für die Detektion von Rayleigh Wellen, basierend auf ZnO-Oxid Technologie.
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Erstes industriell genutztes Ultraschallmikroskop
Das SAM Ultraschallmikroskop mit 200 MHz Arbeitsfrequenz wird zur industriellen Anwendung eingeführt.
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Die erste SAM Software
Das erste kommerzielle V(z) Modul, ein Computer unterstütztes System zur Ermittlung der Geschwindigkeit von Oberflächenwellen (Rayleigh-Wellen) mit SAM, wird vorgestellt.
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Grundstein der Akustischen Mikroskopie
Entwicklung des ersten ultra-hochauflösenden Ultraschall-Rastermikroskops "ELSAM" durch Ernst Leitz, Wetzlar (später Leica) mit einer Arbeitsfrequenz von 800 MHz.