Modalità di scansione della microscopia a ultrasuoni / Esecuzione di analisi non distruttive

Le modalità di scansione, note anche come modalità di imaging, consentono di eseguire analisi non distruttive della struttura interna dei componenti al microscopio acustico. In particolare, queste modalità di imaging aiutano a spiegare i singoli strati e le strutture dei componenti per il rilevamento di delaminazioni e cricche. Per ottenere informazioni dettagliate, si utilizzano diverse modalità di imaging o di scansione.

Panoramica delle modalità di scansione / misurazioni

La modalità di scansione A
La modalità di scansione B
La modalità di scansione C
La modalità di scansione X
La modalità di scansione Z
La scansione passante

La scansione A fornisce il tempo di volo locale del campione, un'onda ultrasonica riflessa dal componente in funzione del tempo. Queste informazioni digitalizzano l'intervallo di campione selezionato per mezzo di un data gate precedentemente selezionato. Questo data gate per la misura quantitativa della distanza temporale (tempo di eco) viene utilizzato per impostare finestre temporali elettroniche nella profondità. Gli intervalli opportunamente selezionati vengono quindi incorporati nella scansione C. Un oscilloscopio digitale sullo schermo rappresenta l'eco in arrivo. Se vengono posizionate più finestre temporali (scansioni X o G), sul monitor vengono visualizzate più immagini.

A-Scan

Segnale A-scan con gate selezionato (riquadro rosso)
In linea di principio, il B-scan consiste nel mettere in sequenza le scansioni A. Esse producono un'immagine della sezione trasversale del componente risolta in profondità in direzione X. Il gate è impostato per l'intero intervallo di tempo, ma può essere configurato dall'utente. Con l'aiuto del software SAMnalysis, sono disponibili ulteriori opzioni per l'analisi del B-scan.

B-scan

Immagine sezionale di un campione di IC

Immagine sezionale di un campione di IC
In questo caso, il gate è impostato a una profondità e a una larghezza specifiche (controllate in WINSAM). La scansione del componente nelle direzioni X e Y genera un'immagine stratificata del componente, la cui larghezza corrisponde a quella del gate di dati impostato. In caso di superfici delaminate, quest'area può essere immediatamente contrassegnata in rosso (visualizzazione dell'inversione di fase).

C-scan

Mappatura planare di un campione di CI
Le aree delaminate sono di colore rosso
Nella scansione X, più di 100 immagini C-scan di diversi intervalli di profondità possono essere generate simultaneamente e visualizzate in tempo reale durante un'operazione di scansione.

X-scan

Vari tipi di informazioni sulla profondità di un campione IC
La modalità Z-scan acquisisce record di dati tridimensionali (informazioni tomografiche) e consente ricostruzioni off-line di scansioni B, C, D, P, X, A e 3D, nonché misurazioni runtime delle immagini con gate selezionabili dall'utente. Queste possono essere elaborate dai software SAMnalysis e WINSAM.

Z-scan

Esempio di ricostruzione dell'immagine da una scansione Z
-di un campione IC
Un trasduttore posizionato sopra il campione emette un segnale a ultrasuoni, che viene rilevato da un secondo trasduttore posto sotto il campione. Questa modalità di scansione fornisce all'utente informazioni sulla struttura del campione. In questo processo, entrambi i trasduttori analizzano il campione contemporaneamente.

Through-scan

Immagine di trasmissione di un campione di CI